Maxi wafer pour micro capteurs à prix mini !

Dans le périodique : Défis du CEA (Paris), n°203 (12/2015)
• Auteur : Vahe Ter Minassian
• Pages : p.6
  • Langues : Français
• • Nature du document : documentaire Genre : article de périodique
  • Note générale : Lexique.
  • Résumé :

    Démonstration, par le CEA, de la faisabilité de la fabrication des MEMS, microsystèmes électromagnétiques, à partir de plaques (ou "wafers") de silicium de 300mm. Avantages économiques produits par cette taille du wafer pour fabriquer les capteurs. Principes de fabrication et enjeux pour l'Internet des objets (IoT : Internet of Things).

• • Descripteurs : capteur / Internet